原子力顯微鏡使用時(shí)常見問題的處理

點(diǎn)擊次數(shù)：4537 更新時(shí)間：2021-01-06

　　原子力顯微鏡使用常見問題處理如下：

　　一、Z軸反饋信號(hào)不穩(wěn)定

　　當(dāng)在調(diào)節(jié)的時(shí)候Z軸反饋信號(hào)不穩(wěn)定，而且跳動(dòng)很大時(shí)，就不能進(jìn)行測試，產(chǎn)生這樣的情況主要可能有兩點(diǎn)：

　　1.表面狀態(tài)特殊，適當(dāng)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，重新選擇測試位置；

　　2.探針?biāo)蓜?dòng)，因?yàn)樘结樖怯秒p面膠粘的，在測試過程中，來回運(yùn)動(dòng)將是探針?biāo)蓜?dòng)，這時(shí)由于探針的不穩(wěn)定跳動(dòng)將使反饋信號(hào)不穩(wěn)定。

　　二、光斑不對

　　對光斑的要求：

　　1.衍射條紋要清楚，這要通過調(diào)節(jié)四個(gè)旋鈕達(dá)到良好的衍射；

　　2.光斑要在PSD的左邊，如果不對可能是由于針粘的不平，重新調(diào)整針的位置，將針貼平；

　　3.光斑的中心位置不對，這可能針固定的位置不對，適當(dāng)旋轉(zhuǎn)粘貼探針的鐵圈，針的位置中間和伸出的長度為長邊的一半或小于一半；

　　4.如果在調(diào)節(jié)距離的時(shí)候光斑不僅出現(xiàn)左右運(yùn)動(dòng)還有明顯的上下運(yùn)動(dòng)，可能是由于支撐探針的三角形邊斷裂，在達(dá)到原子力范圍時(shí)探針受力不均，此時(shí)可更換探針。

　　三、反饋信號(hào)弱

　　首先保證打開高壓電源，如果反饋信號(hào)弱將導(dǎo)致圖像不清甚至不能測試。

　　1.電池電量不足，激光燈強(qiáng)度變?nèi)酰?/div>

　　2.確認(rèn)反饋旋鈕1-2圈，PSD旋鈕2-4圈，在此前提下如果反饋信號(hào)弱可適當(dāng)調(diào)大反饋旋鈕；

　　3.光斑應(yīng)在PSD的左側(cè)接近光敏面而不應(yīng)該在光敏面上；

　　4.激光器出現(xiàn)問題，更換激光器。